二手 SEMITOOL 270 #9036302 待售

SEMITOOL 270是為可靠的物理氣相沈積（PVD）和蝕刻工藝而設計的全自動光刻設備。它為集成電路制造、MEMS、納米技術和薄膜沈積提供了先進的材料沈積能力。270提供了對物理氣相沈積（PVD）、蝕刻和退火工藝以及化學機械加工（CMP）的最先進的自動化控制。該系統具有先進的射頻等離子體源、健壯的機器人處理單元、原位加熱、集成前體以及強大的後處理診斷功能。SEMITOOL 270配備了多功能工藝室，能夠在AL、Cu、TiN和ITO等多種材料中提供較高的材料沈積速率。集成機器人處理機能夠在單圈和多圈模式下一次處理多達30個晶片。這使得該工具高效,並提供了高度的流程靈活性。270還配備了堅固的射頻等離子體源，允許低溫、低壓沈積。工藝與鋁基板兼容，能夠達到高質量的材料層。對於需要精確控制沈積過程的情況，這種選擇是理想的。SEMITOOL 270上集成的原位加熱資產允許在蝕刻和沈積過程中進行精確的溫度控制。該模型提供均勻的溫度分布、低的熱擴散以及整個晶圓的一致溫度。此功能允許在蝕刻和沈積應用中進行可重現的處理和改進的可重復性。270還包括集成前體，為加工室提供前體的自動劑量和儲存。此功能減少了手動處理的需要,並最大限度地減少了浪費。設備還配備了強大的過程後診斷，對沈積過程期間和之後的過程結果進行全面分析。這樣可以確保整個晶片運行過程中的層質量一致。最後,SEMITOOL 270是一種先進的光刻膠系統,具有強大的特性和功能,非常適合集成電路制造、MEMS、納米技術和薄膜沈積等多種應用。該單位的多功能工藝室、集成機器人、射頻等離子源、原位供熱機、集成前體、後處理診斷都走到了一起，提供可靠、準確、統一的結果。