二手 SEMITOOL 270D #9113800 待售

SEMITOOL 270D是一種專為半導體制造而設計的全自動光刻設備。它專為處理多達300毫米的工藝晶片而設計，能夠使用具有可編程參數的四條、五條或八條工藝管道。該系統配備了先進的PLC控制器和自動配置功能，以確保精確的過程控制和屈服優化。它還包括一個復雜的CASSETTE®晶片采摘傳輸單元，該單元比傳統方法更精確地定位晶片。此外，機器在晶圓處理過程中提供了一個清潔且無汙染的環境。270D配備了最先進的γ射線光源圖像曝光器。它提供了一系列的曝光參數，包括焦點、劑量、景深、裝置場的大小和形狀以及對準公差。幹燥環境中的晶圓暴露於光電輻射下，形成所需的圖樣和圖像。圖像曝光精度在10 μ m間距內,配準精度為0.3 μ m。該工具還配備了板載幾何處理單元（GPU），以允許先進的光刻掃描和圖樣技術，如子分辨率特征和多頻曝光。全自動工藝資產還包括用於清潔、開發、光阻剝離、浮閥化學輸送和調理的高級工藝模塊。該工藝室提供無汙染物的清潔環境，並配有用於監測工藝配方參數的精密測井功能。實時室內厚度監測儀也能方便地進行非原位厚度測量。其他特點包括附著層的高流速TN膜沈積模型，集成表面汙染控制的自動薄膜沈積控制，以及實時等離子體監測。總體而言，SEMITOOL 270D光刻設備是一種可靠、高效的半導體制造解決方案。它提供卓越的工藝一致性和控制,同時還提供可靠的晶圓吞吐量.專為滿足MEMS、微電子、光電子等行業大批量生產應用的嚴格要求而設計。