二手 SEMITOOL 270F #151770 待售

SEMITOOL 270F是一種主要用於半導體制造的光刻設備.這個工具有一個自給自足的抗蝕劑處理系統，有一個對流烘烤模塊和一個幹條模塊。270F中的輸送機模塊無縫地將晶片從一步移到另一步，減少了對晶片手動處理的需要。本模塊采用安全夾緊裝置,可消除晶圓處理程序接口工具的潛在損壞。烘烤模塊由兩個高溫室組成，一個過溫探測器和傳送帶。上下烤箱的溫度可以獨立設置和編程，以便進行最佳處理，集成的過溫檢測器確保安全，避免損壞。SEMITOOL 270F的幹條模塊設計有一個能夠同時容納多達19個晶圓的低調盒式磁帶。這臺機器提供高速、均勻和一致的條帶質量，並在惡劣的化學環境下提供最小的暴露時間。帶狀模塊還設有安全帶狀氣體和化學檢測工具，用於保護人員和設備免受不當傷害。270F資產位於與清潔室兼容的機箱中,該機箱配有三位門開關、可編程排氣風扇和Batch Mate數據采集功能。此模型允許對流程配方進行完全靈活的脫機編程和評估,並且可以集成到客戶現有的自動化環境中。此外，SEMITOOL 270F設備內置了校準、維護和安全服務。總體而言，270F是一種先進的光刻膠系統，旨在為制造半導體提供卓越的光刻膠和幹條加工。通過改進對過程的控制和改進過程性能,該單元可以顯著提高產量、可靠性和成本節約。