二手 SEMITOOL 270S #151767 待售

SEMITOOL 270S
製造商
SEMITOOL
模型
270S
ID: 151767
晶圓大小: Up to 6"
Spin rinse dryer, up to 6".
SEMITOOL 270S是一種專為超高精度光刻塗層應用而設計的精密自動光刻噴塗塗層。它采用模塊化設計,並提供最大的靈活性,使其能夠根據不同的客戶需求進行配置。SEMITOOL 270-S設計為覆蓋大面積,具有均勻、可重復的薄膜厚度,最多可同時或按順序容納四種不同的光刻膠類型。該設備包括一個集成的傳感器和控制系統,使其在運行中高度可靠。270S光敏噴塗塗料裝有計算機控制的多區域工藝室,在應用過程中可以調整以精確控制不同的參數。該腔室有計算機控制的可調容積腔室,帶有動態壓力傳感器,確保厚度均勻。容積室還有一個自動補充系統,以自動補充化學罐,並隨著時間的推移在裝載室中保持均勻的抵抗濃度。270-S還包括一個氮氣清除裝置,用於清潔塗層批次之間的腔室。SEMITOOL 270S光刻膠噴霧機采用先進的伺服控制噴槍設計,可用於光刻膠材料的精確和可重復的應用。噴嘴設計為塗抹氧化和缺陷形成最小的均勻薄膜。噴嘴有一個安裝在可變寬度同心環中的旋轉旋轉器組件,可以調整以產生不同線寬的均勻塗層。此外,該工具采用多噴嘴配置,允許同時處理多個基板。SEMITOOL 270-S光刻膠噴塗塗層具有用戶友好的圖形界面,可靈活直觀地編程。這樣可以方便地控制塗層的參數、設置和操作。此外,資產利用步進和重復技術,以確保整個基板塗層的模式一致,使其高效。最後,270S配備了維護模式,以最大程度地減少停機時間並確保正常運行和持續功能。
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