二手 SEMITOOL 270S #178056 待售

SEMITOOL 270S光刻設備是一種高性能晶圓加工工具，旨在滿足半導體光刻加工的最新市場需求。該工具設計用於在各種光掩模、基板和塗層上處理多達150毫米的晶圓，是蝕刻、離子植入、植入和其他先進工藝等光刻工藝的理想選擇。SEMITOOL 270-S具有一個7軸機器人定位系統和一個4軸定格運動單元，這兩個單元都與一個控制器相連，以確保一個最佳的過程。整個機器與運動控制計算機和操作員接口集成在一起。計算機允許操作員通過操縱各種機器人馬達遠程控制機器。另一方面,Operator Interface使操作員能夠監視過程的進度以及調整特定參數。在晶片加工方面，270S能夠有效地進行光照、旋轉和噴塗塗層、烘烤前和烘烤後、背面清潔和塗層以及烘烤後操作。該工具可以以高達180瓦/秒的速度執行,並且可以相應地編程。它還具有先進的自動化校正資產,以進一步加強過程控制。在安全和安保方面,270-S通過一系列關鍵功能提供高水平的控制和自動化。該型號帶有高級安全協議,可防止未經授權移動或修改計算機。此外，機器人電機還配備了安全聯鎖裝置，整個設備的設計符合最嚴格的消防安全要求。綜上所述，SEMITOOL 270S光刻系統是一種可靠、強大、高效的晶圓加工工具，旨在滿足半導體光刻加工的最新要求。它提供了高水平的安全性、準確性和控制性，先進的計算機和操作員界面使得遠程編程和監控極為容易。