二手 SEMITOOL 270S #293811484 待售

SEMITOOL 270S Photoresist Equipment是一個技術先進的系統，旨在在蝕刻和圖案化矽片時提供精確度和準確性。該單元由兩個主要組件組成：工藝室和發電機。該工藝室裝有兩個先進的蝕刻/剝離模塊：HM/CMP模塊和光刻剝離模塊。這兩個模塊均采用專利技術,旨在提供卓越的過程控制、可重復性和先進的結果。HM/CMP模塊提供高精度、高可重復性的蝕刻、沈積和拋光功能。它由一組復雜的組件組成,包括5軸晶圓載波、雙頻電容拾取傳感器、高反應性蝕刻氣體分配機和可調氣流/壓力環境。光刻剝離模塊包含先進的數字曝光工具、高分辨率的數字聚焦資產、紫外線（UV）源以及熱加熱裝置。它旨在為表面光刻和深層圖案蝕刻提供可靠、準確的曝光和蝕刻能力。SEMITOOL 270-S Photoresist Model的發電機部件設計用於提供高速、低噪聲的電壓,非常適合與工藝室進行濕化學處理。它具有多種電源選項,包括直流和交流電壓,以及對PC接口控制的支持。設備的發電機還設計有精心的屏蔽，提供卓越的隔音和更高的精度水平。總體而言，270S光刻系統是一個可靠、強大、精確的工具，用於蝕刻和設計當今最先進的矽片。其先進的過程控制、高可重復性和卓越的精度使其成為最苛刻的應用程序的理想工具。