二手 SEMITOOL 270S #293811564 待售
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SEMITOOL 270S是設計用於半導體制造的光刻設備。它是一個自動化系統,用保護膜覆蓋晶片。該裝置利用機器人手臂施加光刻膠,並具有多種特點,以確保均勻的薄膜厚度和覆蓋範圍。控制機器人手臂的SERVOPAC機器軟件用於對機器人的運動進行編程,以確保適當的薄膜厚度。該軟件還具有一些功能,可以對機器人的運動進行微調,用於精確的應用和在操作過程中監測機器人的性能。該工具能夠處理直徑達300 mm的晶片,並采用模塊化設計,便於維護和升級。它還有一個雙晶片對準板,設計用於快速準確對準晶片,以幫助確保均勻的薄膜厚度。這為資產提供了半導體制造所需的精確度。SEMITOOL 270-S還具有有助於防止汙染的「真空鎖」。這是一個安全的功能,幫助保持光刻膠和其他化學物質的腔室,而晶圓正在處理。用於制造真空鎖的泵是可靠的,並提供一致的真空水平。該模型還包括一個溫度控制器,以保持最佳工作溫度,防止任何熱降解的光刻膠。溫度控制器有助於確保薄膜厚度和覆蓋率均勻,還有助於保護設備免受快速冷卻造成的損壞。270S使用先進的LED照明設備在處理過程中照射光刻膠。這有助於確保持續的曝光水平,並有助於確保光刻膠的準確結果。最後,系統具有緊急關機按鈕和警告燈等安全功能,有助於確保操作安全。這些功能有助於保護設備和人員免受不當使用造成的損壞。總體而言,270-S是設計用於半導體制造的可靠有效的光阻裝置。
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