二手 SEMITOOL 280 #101472 待售

SEMITOOL 280光刻設備是用於先進半導體器件制造的下一代光刻平臺。該系統旨在提供高分辨率成像和超精確的抗蝕劑開發,支持生產最先進的電子元件。280使用電子束曝光單元，而不是傳統的抵抗處理常用的光學曝光系統。這樣可以更精確地控制抗蝕劑陣列和最終的設備結構,與光學系統相比性能更好。再者，電子束曝光機有非常大的動態範圍，允許它在整個基板上成像不同大小的特征。電子束曝光工具還能實現高長寬比，以及亞µm的特征圖案。因此,輸出圖像的質量和保真度最高。該資產還具有自動抗蝕劑開發模型,允許可復制、精確的薄膜厚度和材料去除。此功能可確保每一個通道都能準確地產生所需的設備特性。SEMITOOL 280包括一項專利的自旋抗蝕劑塗層技術,允許快速均勻地塗覆基板。這允許準確和可重復的設備功能大小和放置在基板內。此外，該設備能夠裝載和卸載多個基板，從而能夠大規模生產復雜的設備。280的數據處理和控制能力是系統的另一個優勢。為設備的集成和控制以及缺陷檢測和糾正提供了軟件。該軟件用於管理從圖像采集到抵抗塗層、抵抗曝光和開發的整個過程，到在基板上放置特征。該軟件允許根據需要調整曝光和開發參數，以便優化流程的每個步驟。總體而言，SEMITOOL 280光刻機是一種功能強大且用途廣泛的工具，用於大批量生產先進的半導體器件。280利用其電子束曝光工具、自動抗蝕劑開發和數據處理功能,提供了精確、可重復的抗蝕劑處理,與傳統光學資產相比效果更好。