二手 SEMITOOL 280 #9116704 待售

SEMITOOL 280是為先進半導體應用而設計的光刻設備。它提供了制造用於光刻和沈積薄膜的晶圓面膜的工具和技術。該系統能夠處理直徑不超過8英寸的基板，並且能夠以同樣的精度處理矽、和砷化的晶片。該單元由兩個部分組成：電阻處理器和沈積機.抗蝕劑處理器本質上是一種自旋塗層、除汙劑和烤箱-全部采用一種工具-可從矽片中清潔、塗層、烘烤和剝離光致抗蝕劑。抗蝕劑處理器是自動化的,並與沈積工具集成在一起,該工具可精確控制用於在晶圓表面上構建的結構的薄膜的沈積。280是為高通量生產而設計的，同時提供了無與倫比的膜厚度均勻性。資產采用先進的運動控制技術來確保晶圓的均勻覆蓋.用於控制模型的軟件允許控制底物旋轉、摻雜劑濃度、電鍍電流以及其他對於精確沈積控制至關重要的參數。該設備具有多種選項,便於針對特定應用程序進行定制。它能夠進行諸如電子束/熱/光學光刻、原子層沈積、聚類和濕化學等先進工藝。此外,它還具有集成的離線過程控制支持,以確保在裝運前完成和驗證所有必要的測試和測量。SEMITOOL 280非常適合高端半導體器件，是大批量生產的可靠選擇。它的自動化系統允許操作員盡量減少錯誤和浪費，因為它精確地控制沈積過程的各個方面。該單元提供了最佳晶片處理，通過先進的運動控制獲得了一致的結果，確保了薄膜厚度的無與倫比的均勻性。這使得機器在高端生產中的使用效率高、成本高。