二手 SEMITOOL 280S #9123938 待售

SEMITOOL 280S光刻設備是針對低溫下表面的高分辨率蝕刻和離子束蝕刻而優化的先進平臺。它為用戶提供了一套高級功能,以提高高精度功能處理的性能和準確性。280S光致抗蝕劑系統是建立在一個真空加工室，它配備了一個多室電阻色譜（MCR）離子束沈積單元。這樣就可以生產形態覆蓋範圍均勻、質量優良的超薄高分辨率薄膜。MCR用於確保工藝穩定、可重復，並能精確控制薄膜厚度。SEMITOOL 280S還配備了一系列軟件、控制器和驅動程序，以確保完全控制離子束電流和變化的離子能，以及一系列光學輔助電極控制。這樣可以精確對齊多層結構,並可以精確蝕刻特征尺寸。該機溫度和壓力設置範圍很廣，從1.1 bar和200 °C的低點到13 mbar的高點，最高可達400°C。這允許工具在一系列不同的應用程序中操作,包括那些在蝕刻過程中需要較高溫度的應用程序。280S還提供了最小化的微粒生成和氧化，這可以提高加工表面的質量。SEMITOOL 280S得益於一系列旨在幫助減少蝕刻過程中可能存在於室內的汙染物數量的電池。這為用戶提供了一個更可靠的清潔環境,同時允許更好地控制暴露的功能。此外,該資產還具有一系列易於使用的維護功能,有助於提高可維護性。總之，280S光致抗蝕劑模型是針對低溫表面的高分辨率蝕刻和離子束蝕刻優化的先進平臺。其廣泛的溫度和壓力設置、MCR離子束沈積設備、光學輔助電極控制和有助於減少腔室汙染的電池使其成為生產高質量、精確蝕刻特征的理想選擇。