二手 SEMITOOL 32AMP #9359482 待售
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SEMITOOL 32AMP光敏設備是一種半自動抗蝕劑處理系統,設計用於200毫米晶圓的批量處理。它適用於大多數常見的光刻膠,並提供全場和光斑處理。32AMP提供了多種功能,非常適合半自動抗蝕劑處理。它配備了計算機控制的穿梭臂,可重復性和準確性,以及20個不同的儲水池,用於光致抗蝕劑的混合和儲存。這樣可以預先混合多種不同的光反應物,確保快速的周轉時間和一致的結果。該裝置能夠一次處理16個200毫米晶片,並提供全場和光斑大小分辨率。這臺機器的設計符合人體工程學和用戶友好.它是可移動的,腳部可調,易於訪問所有系統組件進行維護。所有組件都設計為易於從設備的一側訪問,並且可以在不打開設備的情況下進行調整。用戶界面包括彩色液晶觸摸屏,可快速設置和輕松控制,以及預設配方數據庫。SEMITOOL 32AMP光刻工具采用最先進的節能設計,具有低噪聲風扇、幹泵資產和降低的排氣要求。該單元還包括智能監控模型,確保設備盡可能高效運行,減少用戶頻繁幹預的需要。集成軌道系統設計既可靠又堅固。它采用不銹鋼結構建造,增加了耐用性,可以處理高達半英寸厚的晶片。滾筒和導軌是為精確運動而設計的,並設計成最大限度地減少顆粒脫落。32AMP光敏裝置是半自動光敏處理的理想解決方案。憑借其最先進的設計、用戶友好的界面和可靠的軌道機,該工具能夠提供一致的結果,並且用戶幹預最少。
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