二手 SEMITOOL 4300 #9116706 待售

製造商
SEMITOOL
模型
4300
ID: 9116706
Spin rinse dryer Rinseware controller.
SEMITOOL 4300光刻設備是一個最先進的平臺,旨在協助生產先進的集成電路。它是一種高通量的單晶片工藝,旨在提高光刻膠沈積、支撐、自旋塗層的效率和開發廣泛的基材。該系統提供一系列工藝選項,最高可用溫度為155 °C。它可以用來塗覆多種基材,包括矽、玻璃和塑料的晶片。該單元的特點包括0-1200 RPM旋轉速度、高達300 Torr極限真空壓力、溫度均勻度+/-5°C。機器有一個雙口袋工作流,在第二個口袋中有一個precoat cycle,允許按順序執行多個進程步驟。最先進的工藝能力大大減少了預制工藝所需的工藝步驟數量。它還消除了對串聯溫度控制器的需求,從而消除了在運行時對其他流程步驟的需求。該工具的腔室旨在確保工藝的可重復性和防止交叉汙染。它是由輕質鋁制成的,在較長的加工時間內具有較高的保溫性能和防止氧化作用。4300由觸摸板控制面板控制,該面板提供各種過程控制和過程分析工具。用戶友好的界面使得各種光刻過程易於編程和設置資產。SEMITOOL 4300是光刻膠制造的可靠高效工藝,是高通量工業制造應用的理想平臺。通過利用模型的過程控制功能,確保過程的準確性和一致性,從而確保產品質量最高且產品產量一致。憑借其用戶友好的界面,易於設置、使用和維護。
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