二手 SEMITOOL 4300S #25304 待售
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ID: 25304
Single stack spin rinser dryer, 8"
Roll around configuration
Includes:
Class 10 Poly
4 bolt or quick
Disconnect rotor
N2 rear seal.
SEMITOOL 4300S是為半導體工業設計的光刻設備。它是一個全自動平臺,用於在晶片上精確、精確地沈積薄膜光刻膠。光阻系統是一種靈活、方便用戶的裝置,可提供精確可靠的性能。該機采用先進的抗蝕劑成像裝置,利用多種噴嘴實現高精度、均勻和均勻的渦旋沈積。渦流被攪動以確保均勻、一致的液滴大小和形狀。這確保了即使是最細膩的光刻劑的精確和可重復的塗層。精確穩定的沈積速率保證了光刻膠層在晶片前後兩側的厚度均勻。該工具具有強大的精密光源,具有集成的多層遮罩和光學器件,能夠對光刻膠層進行精確的圖樣處理。硬性濾光片和軟性濾光片均可用於確保光刻膠的精確曝光。這種正在申請專利的先進噴嘴設計和動態氣流技術使曝光後烘烤(PEB)能夠精確且可重復,從而防止了諸如粘接和分層等常見的晶圓問題。SEMITOOL 4300 S還附有集成的屏幕分析資產。這種先進的特性可以有效地篩選光刻膠層,以確保均勻的沈積和曝光。該技術包括在晶片表面上使用非侵入性掃描,從而能夠檢測光刻膠層的微小變化。4300S是為最大限度的用戶靈活性和可靠性而設計的。這樣可以快速設置、清潔和維護模型,使其能夠處理各種過程調整和修改。這種先進的光敏設備為半導體工業中的任何光敏沈積過程提供了高效、精確的解決方案。
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