二手 SEMITOOL 4300S #293608837 待售

SEMITOOL 4300S是為先進的微電子制造應用而設計的高端光刻設備。它是一個完全自動化的塗層和開發系統，可以處理各種各樣的晶圓尺寸和工藝。該單元還包括正負光刻膠的自動膜厚度控制。它加載了高級功能以優化過程控制、刀具正常運行時間和產量。SEMITOOL 4300 S機器可精確控制任何基板表面的薄膜厚度,包括玻璃、矽和石英。其先進的光學幹涉儀在晶圓級提供絕對薄膜厚度，並在幾分鐘內進行精確的厚度測量。該工具還集成了反向掃描模式、多通道加濕器和基於光纖的測量技術，以確保可重復性、準確性和可重復性。4300S帶有一個18步200毫米可編程晶片盒式磁帶，可確保晶片以適當的方式加載、清潔和曝光。它配備了具有專利噴嘴技術的耐化學噴霧器，可提供精確和均勻的塗層參數。該資產還包括一個專有的四卷擠壓模塊，用於精確控制腔室壓力和流量，以確保均勻的薄膜厚度和高產率。4300 S還配備了先進的過程控制軟件,其中包括用於監視模型參數的硬件監視器、用於自定義和更改過程參數的配方編輯器以及用於跟蹤生產歷史和統計數據的生產經理。集成的自動缺陷檢測設備通過監測光刻膠薄膜和基板表面的眼睛看不見的異常來減少汙染。最後,SEMITOOL 4300S帶有符合人體工程學的設計,可方便訪問和簡化維護。它的特點和功能確保了高效的加工和可靠的生產，同時防止意外汙染和盡量降低成本。事實證明，該自動化系統在微電子產品的組裝過程中可產生高重復性、低交叉汙染、良好的光刻性能和提高的生產率。