二手 SEMITOOL 4300S #71200 待售

SEMITOOL 4300S是一種光刻塗層和開發設備，利用先進的專業技術來實現最高的分辨率和最小的特征尺寸。它非常適合生產半導體器件，特別是那些需要非常細的線寬的器件。該系統設有兩個標準的氣相沈積室，以及用於連接外部裝置的多個端子，如下遊烘烤爐或額外的氣相沈積室。最多可以增加四個吊艙，使單位總共有六個房間。這允許塗覆各種表面尺寸。該機還有兩個晶圓傳輸系統，帶有兩個獨立的無刷直線電動機，用於在腔內精確定位晶圓。該工具利用具有基於Web的用戶界面的自動化軟件控制資產。這允許用戶通過任何連接互聯網的設備來控制模型，還可以實現遠程監控。此外，該設備還配備了先進的數據記錄和報告軟件，使用戶能夠廣泛分析每個晶圓過程。對於基板加熱,該系統包括預置加熱元件和鹵素燈,可精確控制溫度和加熱速率。一旦晶片進入腔室，就使用自旋塗層方法應用光敏塗層。然後將樣品基板加載到旋轉頭上，並用光刻膠旋轉塗層。接下來是一個多步驟的開發過程，其中用顯影劑或蝕刻劑去除了暴露的光致抗蝕劑。經過顯影後，剩余的光致抗蝕劑用幹凈的溶劑從底物中除去。對於更高的分辨率和更小的特征大小,該單元可與兩步雙級COBEX進程結合使用。這是由第一個針對高分辨率優化的長期旋轉級工藝組成,然後是用於特征小型化的短期旋轉級工藝。總之，SEMITOOL 4300 S是一款功能強大的光刻塗層和開發機器，旨在滿足高端半導體器件制造的需要。它的高級功能集和自動化控制工具為用戶提供了頂級分辨率、小型化功能和易於使用的操作。