二手 SEMITOOL 4300S #9221068 待售

SEMITOOL 4300S是一種光阻處理設備，設計用於去除薄膜和半導體基板，並能夠生產集成電路（IC）。它是經濟高效、高批量、高精度生產的理想平臺。該系統由三軸步進電機和定向真空晶片負載站組成。晶片加載到步進電機沿x、y和z軸移動的載波上。真空泵將晶片拉到工作站上，然後電動機將晶片通過工藝步驟移動。SEMITOOL 4300 S配備了精密抵抗膜塗抹器，采用了可編程的旋轉速度和UHV渦輪泵。這保證了光刻膠膜在晶片表面的均勻沈積。精密的自旋轉速控制進一步提高了沈積精度，優化了施加在晶片上的扭矩。光學計量單元用於監測光敏膠片在基板上的沈積。測量晶片的厚度，反饋給塗抹器，根據所需厚度調整轉子的轉速。熱板是可調的，允許設置蝕刻時間和溫度等過程變量。轉子有一個冷卻機，以確保光刻過程中的溫度均勻。該工具還包括一個廢物室，用於收集使用過的光刻膠薄膜。4300S是一種用途廣泛的資產，可用於各種光刻工藝應用。它可靠穩定，能夠一致生產高精度IC。該型號還提供了卓越的性價比，使其成為生產線需求的絕佳選擇。