二手 SEMITOOL 440 series #84155 待售

SEMITOOL 440系列是一款光刻加工設備，提供卓越的光刻性能和吞吐量，結合可靠的精度和可重復性。該系統設計用於一系列光刻應用，如集成電路（IC）生產、晶體管級微電子和沈積/蝕刻工藝。它具有先進的技術、增強的人體工程學和直觀的操作,可實現高效、經濟高效的處理。440系列利用專有的抗蝕劑條帶技術實現了最佳的基板覆蓋、均勻性、曝光性、顯影性和沖洗性能。主動的「光學調平器」單元監控曝光和開發時序，以保持準確性和可重復性。該機還包括一個雙石英板曝光室和一個高通量的自旋處理器，允許快速和準確的處理。獨特的「反應斜坡」特性使旋轉速度更快，停留時間更短，先進的噴嘴設計支持高速率沖洗水射流。該工具還配備了獲得專利的「聲波脈沖」校準資產，以確保針對不同應用的抵抗帶操作的正確參數。它配備了一個完全可調的平臺，允許快速設置，並且向後兼容現有的SEMITOOL系統。集成的遠程處理控制使操作員能夠遠程診斷關鍵型號狀況,並根據需要調整設置。SEMITOOL 440系列設備設計用於清潔環境中的操作。其卓越的配電系統確保了快速可靠的運行，不會因電源的變化而導致性能下降。該單元還配備了冗余安全功能，包括熔融機械和聯鎖安全控制以及溫度和濕度傳感器。440系列優越的設計和工程使其成為現代光刻應用的理想解決方案。它提供了最大的吞吐量、性能和可靠性,實現了更高的精度和可重復性,從而節省了時間和金錢。