二手 SEMITOOL 440S #151783 待售

SEMITOOL 440S
製造商
SEMITOOL
模型
440S
ID: 151783
晶圓大小: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 440S是一種光阻設備,設計用於處理具有高精度和重復性的光阻。該系統由一個基本單元、一個五軸表、一個激光掃描儀和一個沖洗站組成。基本單元包含初級電源和真空源、集成控制器以及顯示顯示器。五軸表提供了高達100 mm x 200 mm的光刻膠的精確配準和處理。激光掃描儀可以精確掃描分辨率高達100 MHz的光刻膠圖樣。沖洗站采用專利噴泉技術,提供均勻、可重復的光敏沖洗。440S設備具有多種功能,可提供廣泛的光刻處理功能。利用激光掃描儀可以在廣泛的溫度和高度範圍內精確跟蹤和定位光刻膠。此外,一臺獨特的獨立可調滾子的機器允許高精度對準和定位光刻在五軸臺上。集成自動化允許大型工具的無人值守操作,用於擴展運行。集成控制器提供了一系列處理功能。控制器的功能包括存儲作業中的數據和復制產生相同結果所需的過程參數。SEMITOOL 440S結構中還包括大量的安全和警報系統,為設備和人員提供保護。440S為客戶提供高精度和可重復性的光敏處理。SEMITOOL 440S采用先進的材料設計,可提供多年的可靠服務。作為SEMITOOL對客戶滿意度承諾的一部分,全球服務工程師網絡可在需要時提供幫助。440S光刻材料是任何光刻實驗室的寶貴補充。
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