二手 SEMITOOL 440S #9137505 待售

SEMITOOL 440S是一種光刻設備，設計用於半導體制造中的高精度、高通量的掩模處理和關鍵的濕蝕刻操作。該系統最適合用於需要嚴格清潔和精確處理的情況,例如高級技術的超細線定義。該單元包括一個閉環雙控制器平臺體系結構,它驅動兩個獨立的設備-掩模對準器和濕處理器模塊。蒙版對齊器用於在處理過程中將光掩模特征與基板精確對齊,而濕處理器模塊負責濕蝕刻過程。掩模對準器由靜電烤盤和可調節功率的紫外線激光器構成，以確保光掩模特征與基板精確對準。它可以處理從平板到三維表面的廣泛基板，並具有10英寸的基板尺寸。烤盤用於在光掩模曝光過程之前使光刻膠硬化。濕處理器模塊負責一系列濕蝕刻操作，包括濕蝕刻、氧化物蝕刻、蒸氣蝕刻、清潔和底漆。它由一個兩級石英工藝室構成，利用化學和物理過程來達到預期的蝕刻和清潔效果。機器的自動化和控制功能基於SEMITOOL Command Software Suite,它提供了復雜的過程和對齊控制。該軟件包括實時曝光特征邊緣監控、高精度對準控制、可調功率激光控制、實時過程監控和在線過程診斷等功能。該工具具有確保可靠和可重復性能的自我校準功能,以及允許定制設計工藝配方的可編程蝕刻工藝窗口。該資產還包括警報、門鎖和緊急停止按鈕等綜合安全功能，以保護操作員和設備免受危險條件的影響。總體而言,440S是專門為高精度和高通量掩模處理操作而設計的先進光刻膠模型。它具有易於使用的用戶界面、復雜的過程控制功能以及確保可靠和可重復性能的自我校準功能。這使得它非常適合在高清潔和精密處理操作中的高級技術的超精細線定義。