二手 SEMITOOL 460 series #84151 待售

SEMITOOL 460系列是一款光刻設備，配備了先進的晶圓軌道技術和自動化前端處理的專有軟件。該系統設計用於嚴密的過程控制，具有高精度級和單晶圓射頻傳輸。460系列光刻系統主要用於光刻、熱處理和切片轉移等過程。該單元包括一個完全可配置的機器人，使用戶能夠自定義晶圓方向和基板尺寸，從而實現快速、輕松的設置。該機器還具有內置的錯誤檢測和診斷功能,可以實時控制進程。此外，該工具能夠跟蹤進程的進度，並通過用戶界面顯示性能數據。該資產具有獨特的超精確非接觸式分配技術，可實現現代光刻膠和其他幾乎任何特征大小或形狀的最高精度交付。該模型還配備了旨在減少位置誤差的高精度索引階段。這有助於確保嚴格的過程控制。SEMITOOL 460光抗蝕劑設備也有幾種最先進的選擇，如電動卡盤、石英渦輪加熱器、渦輪鼓風機、粒子掃描儀和等離子體輔助。該系統還具有先進的保護系統，以確保敏感基板的安全。該裝置旨在為用戶提供可靠、準確的光刻膠解決方案。SEMITOOL 460系列是一種精密的光刻膠解決方案，使用戶能夠實現高產和提高產量。該機器設計用於可靠、準確地輸送光刻膠，使用戶能夠優化其工藝，以實現最小的變化和嚴格的控制。此外，該工具還配備了一些高級功能，以實現高精度性能和最大的安全性。