二手 SEMITOOL 460S #9194050 待售

SEMITOOL 460S Photoresist Equipment是一種高科技設備,旨在允許用戶在基板上沈積各種抗蝕劑或材料,以創建具有特定光學特性的層。460S是一個批處理系統，意味著可以將多個基板加載到單元中，並在一次操作中進行處理。批量最多限制為24種基材，但最小尺寸為1種。SEMITOOL 460S機被設計為可以接受廣泛的抗蝕劑材料，包括光聚合液體抗蝕劑、電子束抗蝕劑和塗層抗蝕劑。刀具的靈活性減少了機器的設置時間，並允許使用各種過程配方，允許用戶匹配其應用程序的個別需求。460S利用先進的熱控制技術來確保整個結構及其過程的溫度均勻。通過閉環反饋過程調節溫度,確保在程序運行期間準確保持溫度。此外,閉環反饋控制還允許隨著時間的推移調整或調整溫度,從而使用戶能夠進一步完善其工藝參數。SEMITOOL 460S使用精密自動化機器人和可移動平臺來定位基板。該平臺采用7軸設計，帶有可編程定位器，允許基板精確定向。此外，平臺設計實現高速定位，並配有真空資產，避免在過程中發生任何潛在碰撞。460S型號配備了一種高度靈敏的光學設備，設計用於檢查過程中抗蝕層的厚度。該系統利用紅外單元，允許用戶快速準確地測量層厚度，減少時間和工作量。SEMITOOL 460S Photoresist Machine是一種理想的解決方案,適用於需要在大批量基板上進行精密塗層的用戶。此工具提供了極大的靈活性,同時仍為用戶提供了實現所需最終結果所需的準確性和控制。460S是需要高精度抗蝕劑和其他材料塗層的工業和研究應用的最佳解決方案。