二手 SEMITOOL 460S #9229852 待售

SEMITOOL 460S Photoresist Equipment是為半導體制造業的濕處理應用而設計的自動化工具。它能夠處理多種光致抗蝕劑材料，包括正負式抗蝕劑和光致定義聚合物。該裝置有一個ProFlex™ II液體模塊，它提供了一個單罐浸入式光刻溶液晶圓處理。它還采用先進的安全功能和過程控制技術，以確保一個可靠和可重復的過程。460S配有高性能模式發生器，能夠產生各種光敏配方，並將其保存在內存中以備將來使用。此外,由於它的四墊圈雙車道技術,它能夠使用多達四種不同的晶圓類型執行多個同時過程。這有助於促進高度自動化的過程,從而提高吞吐量並提高晶圓產量。SEMITOOL 460S系統擁有兩個獨立的過程室，即發展室和脫衣舞室。這兩個腔室采用完全溫度控制的循環浴，以確保光刻膠能夠抵抗光線照射，並在整個過程中保持一致的溫度水平。此外，腔室的設計通過消除被清洗的晶片在隔壁上濺出溶液的可能性來防止兩個腔室之間的交叉汙染。460S還包括一些可選的附件，例如陰影掩模模塊，它允許在晶片上快速、精確地放置光刻膠圖樣，以及籃子轉運站，它允許單獨抽出盒式磁帶和地板。該單元還包括先進的過程控制軟件，用於監測和記錄整個過程中的情況。最後，該裝置具有多種功率水平，以確保所有光敏材料的最佳濕法處理。綜上所述，SEMITOOL 460S Photoresist Machine是一種先進的工具，旨在提供各種正負光刻材料的自動濕處理。它具有先進的工藝控制軟件，為穩定的溫度再循環浴池，以及各種額外的功能和附件，以確保一個可靠和可重復的過程。