二手 SEMITOOL 470F #151769 待售

SEMITOOL 470F光刻設備是一種用於半導體工業的塗層、開發和清洗晶片的自動化解決方案。其先進的設計促進了晶片加工操作的更高精度和重復性，包括幹膜和濕膜操作。該系統旨在將光刻膠應用於單面和雙面晶片。光致抗蝕劑是一種均勻、光敏的有機聚合物材料，用於半導體制造。光刻膠在晶片上的應用有助於為每個器件創建特性，從而能夠制造細間距的半導體器件。470F由多個模塊組成,這些模塊跨晶圓工藝線集成在一起。這包括自動晶片裝載機（AWL）、晶片傳輸以及各種工藝模塊，如Spin Coater、Spinner、Developer、Cassette Cleaner和Hot Slot。自動晶片裝載機（AWL）提供了可靠、準確的晶片往返設備的定位和轉移。此外,AWL允許在兼容接口上安裝盒式磁帶,從而實現高效可靠的盒式磁帶到盒式磁帶的傳輸。晶圓傳輸模塊提供了一個完整的傳輸和運動控制，而可重新配置的傳輸路徑是通過一個完整的閉環運動控制和數據記錄機實現的。工藝模塊使光刻膠能夠應用於晶片。Spin Coater用於高速在晶片上創建均勻塗層。Spinner用於在晶片上開發光刻膠，去除多余的光刻膠和去除殘留物。顯影劑模塊用於在蝕刻或創建電路圖樣之前卸下有害的光刻膠。Cassette Cleaner用於在操作過程中通過噴灑清潔溶液來清潔晶片。熱槽用於幹燥光刻膠。總之，SEMITOOL 470F Photoresist Tool是一種用於半導體工業的塗層、開發和清潔晶片的綜合自動化解決方案。集成模塊和高級設計使晶圓處理操作具有更高的準確性和可重復性。