二手 SEMITOOL 470F #9268571 待售

製造商
SEMITOOL
模型
470F
ID: 9268571
Spin Rinse Dryer (SRD) Stand alone.
SEMITOOL 470F Photoresist Equipment是一種高性能、先進的濕處理系統,旨在處理半導體和混合電路制造過程的嚴格要求。該設備配備了一個可擴展和擴展的專用平臺,可為從平板顯示器到SOI晶圓制造的各種應用提供眾多的浴池、模塊和相關外圍設備配置。此外,該機器標配高級軟件功能,提供廣泛的過程控制、監視和報告功能。470F光刻工具建立在可靠的可擴展性和優越的性能早期型號.它能夠處理所有標準的光刻膠工藝,如旋轉塗層、噴塗塗層、預烘烤、曝光、後烘烤和開發,以及復雜的多步驟工藝。該資產利用超過25個單獨的浴池來完成各種工藝,包括溶劑、沖洗、烘烤前、烘烤後、沖洗顯影劑和防反射塗層。為了支持多種配置和配方,SEMITOOL 470F采用了標準化的模塊化設計,可快速輕松地交換浴池和模塊。該模型還具有直觀的觸摸屏界面,用於控制、存儲和監控配方參數和流程結果。觸摸屏界面顯示詳細的溫度、攪拌和化學信息,並允許自定義所有參數設置。這種直觀、交互式的觸摸屏界面為用戶提供了快速、方便的實時過程信息訪問,確保了最佳結果和嚴格的制造公差,同時為生產過程增加了價值。高性能軟件嵌入到470F中,可輕松實現數據驅動的過程監視和控制。該軟件旨在為所有設備流程提供規格、警報、診斷和報告。此外,軟件的可靠報告還提供了有關流程參數、流程狀態和流程歷史的詳細信息。可以快速輕松地分析這些信息,以幫助優化生產過程,節省時間和金錢。SEMITOOL 470F經過量身定制,能夠以最小的技術人員交互作用高效有效地處理各種光刻過程。該系統能夠執行復雜的多步驟過程,包括旋轉塗層、預烘烤、曝光、後烘烤和開發。強大的軟件為用戶提供數據驅動的過程監視和控制,同時確保嚴格的生產公差。最後,直觀的觸摸屏界面提供了快速、方便的實時流程信息訪問,允許用戶定制和優化生產流程。
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