二手 SEMITOOL 470S/L #9099016 待售

製造商
SEMITOOL
模型
470S/L
ID: 9099016
晶圓大小: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL 470S/L Photoresist Equipment是半導體工業中用於加工半導體晶片的可靠且成本效益高的工具。它是一個使用幹法和半濕法加工的抗蝕劑加工系統系列。該470S/L用途廣泛,能夠為各種客戶需求提供常規和專業晶片處理。它設計用於研發和生產環境。該設備具有多種功能,包括與大多數一室和兩室混合浴的兼容性、快速輕松的晶圓處理以及全自動溫度和旋轉速度控制。該470S/L是一個強大的光刻機提供膜厚度控制高達1000納米。其精密設計的晶片保持機構使抗蝕劑均勻分散在晶片表面上,其先進的熱鍍技術提供了快速、準確和可重復的晶片調平。熱板的溫度可調節至300攝氏度,並提供精確的晶圓對準。此外,該470S/L還具有自上而下的旋轉選項,可用於濕蝕刻和旋轉烤箱功能。該工具允許在較快的工藝周期時間(<20秒)下實現高生產率吞吐量,並提供了使用熱板和旋轉烘烤自動化的選項,以便更快地達到目標溫度。這些特性使該資產成為低批量生產測試的一個不錯的選擇,許多客戶發現其快速的過程時間是開發快速、準確的過程周期的關鍵。該型號也非常可靠,維護要求低,設備停機時間最短。它在過程控制和操作操作方面的卓越表現也減少了昂貴和耗時的設備維修。該470S/L還具有多種安全功能,如液體廢物箱和自上而下的自旋安全。該470S/L是制造半導體晶圓的重要工具,可大大節省成本。憑借其精密的工程設計和強大的工藝控制選項,以及高性能和低維護要求,它不僅適用於大批量生產,而且還為研發提供了可靠、經濟高效的解決方案。
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