二手 SEMITOOL 470S #103617 待售

SEMITOOL 470S是一種先進的半導體加工光刻系統.它用於制造集成電路（IC）板和其他電子設備。該系統采用熱光技術在晶片上塗覆光阻，以編程芯片布局和特征。這個過程從晶片組裝階段開始，然後是光刻曝光和旋轉塗層。在曝光期間，在晶片和光致抗蝕劑之間放置一個遮罩，然後光線通過模型。抗蝕劑在光線照射的區域有選擇地暴露，而未曝光的抗蝕劑在光線被阻擋的區域被去除。光刻曝光之後是塗層步驟，晶圓放置在SEMITOOL 470 S的熱光塗層室中。該腔室可精確控制熱特性、溫度和均勻性，從而實現一致、可重復的光刻沈積。腔室有多區加熱機構，有一個或多個風扇輔助選項，以增強穩定性。最後，在470S的固化爐中固化光刻膠。該烤箱具有先進的精密控制，以確保光刻膠得到適當的固化和硬化。此外，烤箱可以編程為多種配方，具有預先設定的溫度和停留時間。總體而言，470 S是一種先進的光刻膠系統，用於產生緊密的線寬和高圖案分辨率。它的精確度、可重復性和熱控制使得能夠可靠地制造IC板和其他先進的電子設備。