二手 SEMITOOL 470S #151764 待售

SEMITOOL 470S是一種光刻紙條設備，設計用於支持廣泛的表面制備、光刻和抗加工應用。該系統利用創新技術確保所有光掩模對準的精度為+/-2微米。該裝置具有模塊化的四軸運動能力,可滿足各種基板配置,並具有可編程的四頭松開器/回收器,在處理直徑達300 mm的晶片時提供靈活性和精確度。SEMITOOL 470 S提供了全方位的抗蝕劑處理功能,包括手動或自動抗蝕劑旋轉、分拆和開發具有精確對齊和均勻性的抗蝕劑。該機器提供高達450°C的熱板和軟件功能,以控制溫度、時間、壓力和速度。該工具還采用了創新的局部冷卻技術,將熱板的冷卻效果限制在需要均勻冷卻的區域。470S由一個軟件包驅動,該軟件包對各種工藝參數提供精確一致的控制。這些參數由軟件實時監控和調整，允許資產根據流程的具體要求調整參數。此外，該軟件還包括內置的安全協議，以確保以安全和有效的方式執行所有流程。此外,470 S還提供全套診斷和清潔模塊。模型可以自動識別任何檢測到的問題,並提供逐步解決這些問題的過程。該設備還具有自動晶片識別、高級汙染檢測和電纜完整性檢測功能，以幫助確保所有基板得到妥善處理，系統運行最佳。綜上所述，SEMITOOL 470S提供了一個可靠、準確、精確的解決方案，以支持廣泛的光刻膠條帶處理應用。該單元具有創新的控制機器、廣泛的抗拒處理能力以及完整的診斷和清潔模塊。SEMITOOL 470 S的模塊化性質使得它可以被定制以滿足每一個應用程序的特定需求，為光刻膠條帶處理提供了全面高效的解決方案。