二手 SEMITOOL 470S #178413 待售

SEMITOOL 470S是一種光刻設備，用於在清潔室環境中制造半導體器件。該系統由多個獨立組件組成，它們共同為用戶提供了一個高質量、高精度的半導體電路開發環境。SEMITOOL 470 S的核心是一種先進的高頻脈沖電子束蒸發器，其設計目的是將最好的光刻膠層沈積到下面的材料上。蒸發器由高頻高壓電源和大型對稱電子束槍組成。該單元采用的共聚焦定向電子束振蕩技術確保了精確的抗蝕性沈積，並確保了光致抗蝕劑線的尺寸保持一致。蒸發器還帶有一系列可調節的參數，如柱的位置、線寬和沈積深度，使光刻膠得以精確應用。470S的第二個組成部分是旋轉處理器，它控制著光刻沈積的精確旋轉和旋轉參數。自旋處理器配備了先進的DSP（Digital Signal Processing）機，將絕對精確的過程控制與遠端旋轉和加速度的精確跟蹤相結合。處理器使用一系列旋轉配置文件進行預編程,使用戶可以輕松地選擇最適合其抵抗厚度和布局要求的配置文件。470 S還包括多曝光處理器,它提供了精確一致的多曝光源。這款處理器提供了一系列的曝光要求，從單條到復雜的直線模式，使得半導體電路設計的制造具有高度的準確性和可重復性。最後，SEMITOOL 470S采用高分辨率檢測工具，確保了沈積光致抗蝕劑的最佳質量和一致性。這一資產的特點是三臺高分辨率相機配有可調變焦鏡頭，允許同時檢查多個區域。檢測模型還連接到功能強大的計算機設備，確保攝像機捕獲的數據始終準確、最新。SEMITOOL 470 S光刻系統是一個真正全面的單元，為用戶制造半導體器件提供了完整的解決方案。其先進的蒸發器技術和精確的Spin處理器,以及其多曝光處理器和高分辨率的檢驗機,在質量、一致性和可用性方面都是最可靠的。