二手 SEMITOOL 470S #293658254 待售

SEMITOOL 470S是一種設計用於處理半導體晶圓的光刻設備。它具有傳統光刻索引器與強大的工藝控制相結合的特點。該系統旨在在廣泛的應用中優化半導體器件的處理。SEMITOOL 470 S由基板處理室、多個過程模塊和易於使用的用戶界面組成。基板裝卸室是為提高晶片裝卸效率而設計的。它具有高容量，具有較大的晶片分級區域，可以快速裝卸，並在整個腔室內均勻分布真空。470S的集成多工程模塊是為光刻和抵抗開發過程而設計的。該設備的功能包括先進的步進控制器、雙索引、可重復的叠加跟蹤以及獲得專利的預對齊器。步進控制器提供了對線性和旋轉運動的獨立控制，從而在陣列應用中獲得了最大的精度。雙索引機便於基板與圖樣化狹縫和階梯狀場的重復對齊，而預對齊器則使晶片保持完美的配準。470 S還配備了配管噴嘴裝填工具和防腐帶狀腔室,兩者均與外部環境密封,以確保無汙染處理。資產的獨立的抗蝕層應用室可以容納廣泛的光刻膠，允許過程的多功能性。SEMITOOL 470S的用戶界面是專門為簡化和加快生產操作而設計的。該模型使用帶有直觀圖標的觸摸屏界面，使導航和導航過程更加容易。集成工具專為詳細的產品分析而設計,允許用戶訪問有關其每個過程的詳細數據。總體而言，SEMITOOL 470 S是高效半導體晶圓加工的理想光刻設備。其創新的設計結合了光刻工藝的多功能性和精確的抗拒開發能力，以及易於使用的用戶界面。