二手 SEMITOOL 470S #9105722 待售

SEMITOOL 470S是光刻裝置，在光刻過程中用於處理半導體晶片。該設備是一種功能齊全的工具,設計用於處理前端和後端應用程序,而操作員的幹預最少。該系統建立在一個晶圓處理單元上，該單元由一個可以處理各種晶圓大小和厚度的高分辨率X-Y執行器支持。它還可以使用自動對齊機（AAS）以最短的設置時間交換晶片尺寸,該機補償基板之間的位置差異。SEMITOOL 470 S配備了自動化學輸送工具，可確保向晶圓表面精確輸送化學物質，並限制接觸有害物質。該資產具有hot.cold容量,允許進行暖冷處理。它還帶有廣泛的耐熱處理能力，包括預烤、熱氧化物、氧化物蝕刻和DRIE。470S的PLC模型可監視所有設備設置,並基於程序在系統控制器上創建圖形界面。這樣可以確保以優化和可重復的方式執行所有流程步驟。該設備有一個多用途加工站（MPPS），用於處理底物清洗、蝕刻、防腐塗抹、曝光後烘烤、固化、蝕刻、旋轉磨砂、灰燼等。470 S設計有密封的加工室和板載塗料輸送系統。這樣可以在無氧和無水的氣氛中加工晶片，確保最佳蝕刻速率。該單元還配備了配有CCD攝像頭的光學監測機，使操作員能夠實時觀察過程。最後，SEMITOOL 470S包括用於高質量光刻工藝的紫外線光源。該單元配備了13.5sq.cm標準的曝光面罩，還可以搭配375nm、UV激光進行更精確的處理。總之，SEMITOOL 470 S是一種用途廣泛、可靠的光刻工具，為操作員提供了一系列的工藝選擇。該單元的設計易於控制和監控,確保了一致、可重復的結果。