二手 SEMITOOL 470S #9209035 待售

SEMITOOL 470S是為半導體制造工藝設計的光刻設備。它能夠在濕式清潔、開發、蝕刻和光刻剝離過程中達到高性能。使用該系統,用戶可以在其納米加工工作流程中獲得一致的結果,因為它提供了可重復的過程和卓越的處理控制。SEMITOOL 470 S是一個單室垂直單元，具有一個短的開放過程室，可以支持各種小規模的蝕刻、沈積、抗旋和計量過程。它可以利用濕清洗、顯影、蝕刻和光刻剝離來達到理想的效果。內部流程室允許快速更改流程,從而使用戶能夠快速輕松地在流程之間進行切換。該機器還配備了一個專有的EasyClear數字視覺傳感器包，可用於操作過程中基板的受控裝卸。Load/Unload Station還有嵌入式半導體技術，允許用戶無需任何人工接觸就可以裝卸基板，從而消除汙染風險。該工具配備了自動監控資產，能夠掃描以檢測關鍵參數，如基板溫度、壓力、濕度和工藝趨勢。這樣可確保光阻模型處於恒定控制之下,並能夠主動調整工藝參數,以確保特定應用程序的最佳工作條件。470S光敏設備還配備了節能環保智能措施，如節能加熱系統和惰性氣體凈化處理。這些措施允許用戶使用對環境影響最小的設備。此外，機器的所有部件都以高質量標準制造，以提供最高純度的工藝條件和較強的長期可靠性。470 S Photoresist工具可以配置各種配件，以獲得最佳的處理效果。