二手 SEMITOOL 470S #9209038 待售

SEMITOOL 470S是為精密薄膜塗層設計的自動化光刻設備。它包括抗蝕劑分配器、基板級、真空系統和受控環境。分發器能夠精確控制多重抗性配方，允許精確的重復性。分發器可同時容納液體和固體光敏材料，提供靈活性，並允許定制薄膜工藝。分發器還配備了一個泵和混合器，可確保均勻地應用抗蝕劑。基板級為基板材料的放置提供了一個平坦的區域。舞臺設計為可容納各種尺寸可達4 x 4英寸的基板。它也可以配置有加熱或冷卻的平臺，允許在薄膜過程中進行溫度控制。真空機包括真空室和可調節壓力設置。這樣甚至可以抵抗對基板的覆蓋，同時清除基板上任何不需要的氣泡或塵埃顆粒。最後，SEMITOOL 470 S內部的受控環境減少了外部汙染物的有害暴露，如灰塵和濕度。這進一步有助於創建可重復和可靠的薄膜工藝。總之，470S是一種用於精密薄膜工藝的自動光刻工具。它提供對多種抗蝕劑配方的精確控制，容納各種尺寸的基材，提供真空資產以確保均勻覆蓋，並保持清潔環境以防止外部汙染物。