二手 SEMITOOL 470S #9254338 待售

SEMITOOL 470S Photoresist Equipment是一種高性能、自動化的濕式板凳，設計用於制造半導體集成電路的光刻工藝。該系統可以將光敏材料的高級加工應用於各種尺寸的半導體晶片，從200毫米到500毫米，具有介電和金屬沈積。該裝置有一個自動輸送機，在處理步驟之間運輸晶片，一個多區域溫度控制的濕式工作臺，以及一個精密的基於軟件的配方控制機器。這種先進特性的組合使得工具無需人工幹預就能在晶片上產生經過均勻處理的光刻膠層。SEMITOOL 470 S設計用於沈積具有消除表皮抗蝕性的先進光刻材料，形成抗反射塗層（ARC），建造新的光刻層或取代現有的損壞或缺陷層，增加或減小光刻層厚度。這一先進的資產提供了高通量的性能和可靠的晶圓清洗，在半導體制造的關鍵因素。該模型包括用於處理LOR5、LOR6和LOR7光刻膠的解決方案,允許在工藝模塊預處理和濕式臺式設計方面的變化。470S的控制設備由操作員平臺控制，便於設置和調整工藝參數。該系統還能夠逐步監測晶圓工藝，提供準確可靠的結果。除了上述功能外,470 S還提供可調的清潔參數和可變的模塊壓力,從而改進晶圓處理和更好地控制光刻膠質量。該裝置設計為使用精密分配工具，在光刻層壓過程中提高精度。這些特性結合其先進的基於軟件的配方控制機器，使SEMITOOL 470S能夠為各種半導體應用提供出色的光刻工藝。