二手 SEMITOOL 480 #78270 待售
網址複製成功！
ID: 78270
S-Style Spin rinser dryer bench top (1 bowl system), remanufactured
Accommodates up to 8” low profile
102 Controllers, Digital
Brushless motor
Non-contact labyrinth seal upgrade for motor drive and bowl assembly
Rotor Quick Disconnect, for a low profile cassette A192-81M
Resistivity Monitor
Static Eliminator Assembly
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts <50 at .3 micron
Polypropylene Cabinet “Aero Style”
Electro-polished Bowl
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 480光抗蝕劑設備是一個自動化系統，提供全晶圓處理和剝離光抗蝕劑圖樣的高速、可重復性和準確性。該單元使用前端負載機器人在預清潔站、熱板、軌道和開發者站與卸載站之間轉移晶片。預清潔站的設計目的是清潔晶片表面，以去除任何預先存在的殘留物，並為抵抗應用提供一個理想的起點。在烘烤前和烘烤後的過程中，熱板在晶片上提供均勻的溫度，並顯示抗蝕劑模式。履帶模塊配備了一臺先進的微處理器型機器，可在每晶片的基礎上調整盤片速度、噴嘴尺寸和薄膜厚度。開發站配備了優化的旋轉器和多向噴嘴，快速準確地開發了抗蝕劑型式。卸貨站設計用於在烘烤和跟蹤過程後精確定位晶片。該工具設計用於處理直徑不超過8英寸的晶片和處理厚度不超過1mm的磁帶。它提供了極好的對齊可重復性、轉角精度和其他最大一致性的關鍵參數。480還易於編程和維護,並且在發生任何故障時提供故障恢復資產。該模型非常適合半導體器件應用，旨在確保最大產量和成本效益。
還沒有評論