二手 SEMITOOL 480 #78271 待售

SEMITOOL 480是一種基於光刻技術的半導體晶圓加工機。專門設計用於精密半導體器件的生產，如集成電路等微電子元件。該設備圍繞光刻概念構建，是集成電路制造過程中的重要一步。光刻過程涉及使用光源，例如紫外線輻射，將圖樣從光掩模轉移到基板上。然後使用光刻膠開發圖樣，並使用適當的化學或等離子體處理進一步蝕刻。480使用光刻技術，使晶圓上的圖樣利用紫外線的精確發展。該系統具有電子束源，用於在晶片上曝光光刻膠，以創建所需的圖樣。此外,該單元還包括一個臨界成像模塊（CIM）,該模塊可提供精確、高分辨率的光掩模圖像。此圖像隨後在光刻過程中用作參考，以確保正確的圖樣被曝光、顯影和蝕刻到晶片上。為了提高精度和均勻性，SEMITOOL 480還具有可編程斜角單元。斜面單元可以用來調整蝕刻深度，以便於生產特征尺寸很小的集成電路。該機還包括一個溫度控制單元，用於在開發過程中將光敏材料保持在最佳溫度。此外,480還具有高精度的模式對齊模塊。此模塊允許將光掩模快速準確地對準晶片,以確保精確的圖樣曝光。此外,該工具還包括用於監視和控制整個制造過程的高級軟件。綜上所述，SEMITOOL 480是專門為制造高精度半導體器件而設計的先進光阻資產。它具有電子束源、可編程斜面單元、溫度控制單元和圖樣對準模塊，在晶圓圖樣的開發過程中具有較高的精度和均勻性。此模型附帶了用於管理和控制整個制造過程的綜合軟件。