二手 SEMITOOL 480 #78272 待售

SEMITOOL 480光刻設備是一種高通量光刻加工的優質解決方案.該系統旨在為印刷電路板、平板顯示器和類似精密電子設備的制造提供可靠且可重復的工藝。該裝置由三個主要部件組成：光刻磁道和微調機、基於彈藥筒的化學輸送和480控制器。光敏磁道和旋轉器工具是這項資產的基本組成部分，由一個帶有一系列旋轉器模塊的磁道和一個旋轉馬達組成。此模型是根據切口加載過程設計的,可實現高吞吐量生產和短處理時間。旋轉模塊由旋轉馬達驅動，該馬達經過校準和調整，以確保光刻膠軌道的精確可重復運動。軌道上裝有傳感器，用於檢測光刻膠和基板的時序和位置，確保可重復的過程。在軌道的末端放置一個垂直的腳輪機構，讓基板容易從設備上裝卸。化學輸送系統由帶計量裝置的基於墨盒的化學模塊組成，旨在提供化學和工藝環境之間的有限接觸。這樣可以確保模塊殘留的任何殘留化學物質不會交叉汙染基板或履帶單元。墨盒是可互換的，以減少溶劑浪費，確保快速化學變化和盡量降低維護成本。這些模塊還包含安全功能,如過度填充檢測、流量控制和傳感器監控。SEMITOOL 480控制器的設計允許用戶遠程控制和監視整個過程。這款控制器配備了高級功能，如配方同步和多機操作，為用戶提供了全程過程控制。控制器還允許遠程診斷,並向操作員提供錯誤消息。480 Photoresist Tool旨在提供可重復性和靈活性的最佳融合,使其成為尋求提高生產質量和產量的制造商的寶貴解決方案。