二手 SEMITOOL 480 #9105787 待售

SEMITOOL 480是一種高性能的光阻設備,旨在為各種晶圓和基材工藝提供最佳的塗層性能。該系統具有獨特的雙淋浴罩頭設計，為廣泛的應用提供了卓越的均勻性和一致性。高精度MCA（多室應用）單元提供了每個工藝步驟所需的顯影劑、抗蝕劑和蝕刻劑的精確濃度。此外，優化的PWB（可編程墻偏置）控制模塊為大批量生產提供了可編程過程控制。該機配備了最先進的工藝監控系統。這包括SEMITOOL 4340控制器，它使用直觀的觸摸屏菜單和場景進行全流程控制。以及一個反饋控制循環，可以方便地設置和修改過程參數。該工具還配備了高度測量傳感器，以便在臨界或溫度敏感的應用中具有更高的精度。480資產的設計非常可靠,采用模塊化設計,便於日常維護。它有兩個機架，從晶圓尺寸到直徑30英寸有六個腔室應用。該模型還提供了卓越的環境兼容性,具有各種與過程相關的材料以適合任何應用程序。設備配備了一系列電源保護功能，包括主動和被動ESD保護。此外，SEMITOOL 480擁有先進的光學識別系統，旨在提供基板的快速識別和工藝變化。該單元可以在不到1秒的時間內檢測基板類型和陣列步驟。該機器設計為支持潔凈室ISO-5和US-EPA標準，可指定用於RoHS和非RoHS應用。480是先進光刻塗層工藝的經濟高效解決方案。它為大批量生產和工藝一致性提供了卓越的性能,同時還提供了安全和環保的工具。SEMITOOL 480具有堅固的設計和直觀的工藝控制功能,可確保當今光刻塗層工藝的最大精度和可靠性。