二手 SEMITOOL 480S #135528 待售

SEMITOOL 480 S是一種光刻設備，用於在半導體制造過程中進行單晶片濕處理系統操作。它具有專有的端到端自動化解決方案,用於將光刻膠層清潔、蝕刻、剝離和幹燥到半導體晶片上。480 S設計用於每批精密加工多達16個晶圓。它采用自上而下的機械機器人註射器，將少量的光刻膠流體分配到晶圓表面上。這是一個環保單位，最大限度地減少液體廢物，最大限度地提高工藝均勻性。該機還具有可調節的配電閥，可確保晶片表面的最佳和一致配電劑量。光致抗蝕劑工具還通過使用特殊的噴霧歧管和噴嘴組合提供液體的有效和均勻的分布。這使得光刻膠在晶片上具有更好的均勻性，避免了光刻膠在沈積到較大的模具區域時的浪費。SEMITOOL 480 S還采用專門的洗滌運動應用於晶片表面，以減少每個晶片的缺陷數量。另外，圓形平臺允許晶片在施加光致抗蝕劑時連續旋轉，從而在晶片上形成均勻的塗層。這一資產還擁有一系列專用的加熱器和熱電偶，在整個光刻應用過程中測量晶圓溫度。這種監測保證晶片保持在一致的溫度下，從而產生更高的產量和更好的光敏層質量。最後,480 S采用自動幹燥算法,可確保將所有光刻膠從晶片中取出,留下幹凈、高分辨率的表面光潔度。幹燥過程消除了任何表面殘留物或微粒，避免了對底層光致抗蝕劑層的損害。