二手 SEMITOOL 480S #9021897 待售
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ID: 9021897
Spin Rinser Dryer (SRD)
101 controllers, digital
Polypropylene cabinet
Up to 8" process capability
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Labyrinth seal design
220 V ready system (transformer included)
QD rotor design
Options included:
Static eliminator
DI resistivity probes
(1) QD rotor (8") - low profile cassette only.
SEMITOOL 480S光刻設備是專門為光刻工藝設計的先進濕蝕刻、塗層和清潔系統。它是低容量和高容量應用的絕佳選擇。它配備了一個大的、彩色的液晶觸摸面板,允許快速輕松的編程,以及簡單的用戶友好操作。它還具有先進的運動控制,允許精確放置基板處理.480S光敏裝置由兩個模塊化部件組成。第一部分是wetcell,能夠處理尺寸達八英寸(20厘米)的基板。它包括一個用於光致抗蝕劑和顯影劑溶液的化學儲層,以及一個用於基板處理的真空噴嘴。該wetcell還包括一個10攝氏度(50 °F)至400攝氏度(750 °F)範圍的高分辨率數字溫度控制。該濕電池具有耐腐蝕性能,可在高達90攝氏度(200 °F)的溫度下工作。SEMITOOL 480S光刻機的第二部分是Spincoater。它設計用於在尺寸不超過8英寸(20厘米)的基板上提供均勻的光刻膠材料塗層。它具有用於基板旋轉的變速電機,以及用於旋轉速度和總時間的數字顯示器。Spincoater還具有自動定時功能,可根據基板尺寸自動調整時間。480S光敏工具設計精確度和精確度.它包括一個邊緣檢測功能,您可以使用該功能來確保基板設置在正確的位置。此功能有助於消除手動對齊的需要,從而大大減少不準確的結果。SEMITOOL 480S光刻資產是光刻應用的理想選擇,需要精確可靠的濕蝕刻、塗層和清潔。它能夠處理尺寸不超過8英寸(20厘米)的基板,並具有先進的運動控制、耐腐蝕設計、變速旋轉和自動計時器功能。憑借簡單的用戶友好設計和功能,480S一定能滿足您的光刻需求。
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