二手 SEMITOOL 480S #9105286 待售

SEMITOOL 480S是一種用於半導體器件制造中塗層和開發工藝的光刻設備.它設計用於生產環境，對環境汙染物具有很高的耐受性，包括通過等離子體蝕刻和化學機械拋光等其他工藝產生的汙染物。它是一個全自動系統，提供精確、均勻的抗蝕塗層和晶片開發。它具有一個淺水池浴缸和一個可調的晶圓浮標高度為優越的覆蓋整個晶圓表面。現場監視器可確保均勻的抗性分布和厚度。自動調平裝置可確保邊緣珠面覆蓋,並防止邊緣堆積。該機還采用了智能化學輸送，減少了化學覆蓋，噴霧輸送增強了均勻性。采用先進的車載PLC實現全自動、無人值守操作，操作簡單可靠。480S使用最先進的就地幹燥工藝工具,以實現快速循環。它包括一個利用溫度控制空氣加速預幹的優化的抗蝕劑預幹化工具，一個最大均勻性和改進的抗蝕劑附著力的紫外線能量幕，以及一個快速脈沖抗蝕劑暴露資產。SEMITOOL 480S還包括一個自動清理程序,可以清除任何化學沈積物的腔室,從而節省成本和時間。它還包括一個易於導航的HMI菜單,以有效地調度和監視流程。最後，該模型得到全面服務包的支持，包括診斷、維修和支持，以及安裝和操作方面的全面培訓。綜上所述，480S為半導體器件制造商提供了一種用途廣泛、可靠的光刻設備。它結合了自動化功能、高效的工藝工具和強大的支持,使其成為生產環境的理想選擇。