二手 SEMITOOL 480S #9229853 待售

SEMITOOL 480S是一種光刻設備,用於對基板進行光刻.該系統專為大批量生產環境而設計，能夠滿足許多先進集成電路（IC）應用的要求。480S具有高質量的雙光束準分子曝光單元。這臺機器利用了一系列波長，包括248 nm和193 nm紫外線輻射，使用戶能夠為給定的光致抗蝕劑選擇最合適的曝光參數。該單元還包括一個內置的機械臂，用於在曝光過程中精確定位基板。SEMITOOL 480S設有低溫等離子體室，用於塗層後等離子體清洗。該腔室的設計目的是在使用光刻膠之前清潔基板，確保表面光滑均勻，以達到結果的最大均勻性。在塗層後等離子體清洗過程中，底物在低於常規蝕刻工藝使用的溫度下暴露於電離氣體混合物中。這使得腔室可以清潔基板表面而不會造成任何損壞。480S配備了一個用於平版印刷對準的高分辨率相機工具。這一資產使用了一系列CCD傳感器，以便使基板與曝光模式精確、準確地對準。模型還使用二維對齊特征，以確保基板的圖案不會出現變形。SEMITOOL 480S還包括一個自旋蝕刻單元，用於將光刻膠沈積到基板上。該設備能夠沈積不同厚度的光致抗蝕劑，最大厚度為8.5微米。沈積後，基材經過幹燥後烘烤過程，進一步增強了光致抗蝕劑對基材的附著力。最後，480S可用於預烤和後烤的基材。為進一步降低基板表面張力，增加光刻膠的附著力，提高圖樣的清晰度，進行預烘烤。經過後烘烤，光刻膠圖案可以固化並準備應用。總體而言，SEMITOOL 480S是一個先進的系統，能夠處理各種先進的光刻過程。其精密的設計和高端技術的運用，使其能夠以出色的均勻性提供準確的結果。這使得它成為大批量生產和高級IC應用的理想選擇。