二手 SEMITOOL 8300 #84827 待售
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ID: 84827
晶圓大小: 8"
Spin Rinse Dryer, up to 8"
102 Controllers, Digital programmable controller
8300 8” high profile Chamber
Non-contact labyrinth N2 Seal
NB owl with RA10 finish
Brushless Motor with LC-4 Motor Controller
Static Eliminator Assembly
Color coded pneumatic tubing
Rotor Quick Disconnect , Built to customer provided carrier, 2" to 8"
Polypropylene cabinet “Aero Style”
Gaskets, orings, tubing, seals
Vibration dampeners
Complete Documentation Package
Particle counts < 25 at .3 micron
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 8300光刻設備是一種綜合對準和光刻解決方案,用於在基板上創建微型結構。它非常適合先進的半導體器件制造工藝和電子材料研究。它包括兩種不同的設備-步進器和塗層/顯影劑-以精確對齊基板並為微觀結構做好準備。步進器是一種光學掃描系統,旨在精確掃描基板。步進器利用各種特性提供高度精確的對準單元,如不銹鋼框架、索引板和數碼相機。它可以精確地對5微米或更小的特征進行成像,並具有極快的掃描速度以快速對齊基板。Coater/Developer可用於在基板上施加光致抗蝕劑,以便在基板上創建微結構。塗層/顯影劑包含兩個主要部分-塗層和顯影劑。塗層用於在基材上塗抹均勻的光刻膠薄膜。它由一個氣動壓力噴嘴組成,能夠精確、均勻地控制應用。顯影劑含有混合床離子溶液(MBI),有助於去除基板上的光致抗蝕劑。此外,8300還包括一系列性能增強附件,如自動索引器、自動聚焦級、溫度控制系統和多層探測器系統。所有這些附件都可以提高機器的精度和性能。該工具還包含許多其他功能,旨在提高流程生產率和產品質量,如利用暗場成像技術和高級邊緣定位功能。SEMITOOL 8300光刻資產是一種可靠、通用且現代的光刻解決方案,非常適合微結構化應用。它的高級功能允許高精度和精確度的過程,同時還提供一系列性能增強選項。這種全面類型的光刻模型是必要的,以便取得可靠的結果並產生高產率的系統。
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