二手 SEMITOOL 8300 #9155186 待售

SEMITOOL 8300是設計用於化學機械平面化（CMP）和熱化學氣相沈積（TCD）生產工藝的光阻設備。它是SEMITOOL開發的系統中的最新開發,用於實現晶圓曲面的精加工結果。該系統具有觸摸屏、易於操作和低調的設計,使操作員無需創建多個手動條目即可更改配方和程序。8300單元是一個三軸平臺，為關鍵過程提供了更好的重復性和準確性。它具有一個長壽命的非接觸測量頭，用於在晶圓表面上進行精確和可重復的測量。測量頭位於基板的正上方，允許最小接觸，進一步最小化腔室汙染。該機器可以配置有加熱的化學輸送工具或腔室集成的操作資產。加熱輸送模型為優化清洗過程和可控蝕刻過程提供了化學物質的精確輸送。腔室集成操縱設備確保準確的物料轉移，提供一致的結果，並盡量減少汙染。SEMITOOL 8300還具有高級流程控制（APC）功能,以便為用戶提供實現最佳流程結果的自動化、直觀和簡化的方法。APC利用高級算法實現對CMP和TCD進程的精確控制。此外,系統還包括一組可配置的傳感器,允許用戶控制晶圓的清潔度和粘附水平。這些功能使用戶能夠優化物料的去除、清潔和沈積,從而實現可重現和可重復的工藝結果。8300也是令人難以置信的易於維護。該單元包括一臺清潔機、多個工藝罐和一個背面Z高度監視器，可以讓用戶監控和保持室內環境的清潔度。此外,還提供了一套MTBF（故障前的平均時間）進程,有助於優化工具的控制。綜上所述,SEMITOOL 8300是下一代光刻膠資產,非常適合用於各種生產過程。它具有先進的過程控制、長壽命的非接觸式測量頭、自動化的物料傳輸以及易於維護和可靠性。該模型保證了準確和可重復的流程結果,確保了客戶的滿意度.