二手 SEMITOOL 8300S #293755283 待售

SEMITOOL 8300S是一種光刻加工設備，設計用於在各種基板上提供精確的蝕刻和沈積結果。它提供了先進的過程控制,可實現高質量的結果,並與每批產品保持一致的過程時間。SEMITOOL 8300 S機通過智能批量監控支持快速準確的結果。該系統包括許多不同的工具來處理許多不同類型的作業，包括旋轉、噴霧、抄寫員和氣動應用。8300-S配備全自動激光調制蝕刻裝置，處理時間短，蝕刻控制精確，蝕刻設置廣泛，以適應不同的基板應用。腔室最多可容納10個全區載荷。脈沖等離子體源去除有機、非金屬汙染物以獲得更好的蝕刻效果，光刻塗層很容易通過單區、三區或多區自旋過程實現。該機還配有一個四區噴塗塗層，設計用於沈積薄膜層和均勻塗層，以及一個五區刮板，為每種材料類型提供精確的蝕刻參數。8300 S還包括一個氣動驅動站，用於工藝後清潔和可濺射層的沈積。所有獨立的工藝工具都配有內置的氣體選擇閥和工藝控制參數。總體而言，SEMITOOL 8300-S是一種先進的光刻膠加工工具，可在包括晶圓、基材和其他細膩零件在內的各種基材上提供精確的蝕刻、沈積和清潔功能。其先進的工藝控制和多種工具提供了最佳的性能和效果,使其成為大容量和小體積光刻膠加工的理想選擇。