二手 SEMITOOL 8300S #84828 待售
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ID: 84828
晶圓大小: up to 12"
Spin Rinse Dryer, up to 12"
(101) Digital controllers
Polypropylene cabinet
Low profile Entegris 12" cassette
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Electropolished bowls
Labyrinth seal design
(4) Bolts or QD rotor design
CY-20 Static eliminator
(2) Rotors.
SEMITOOL® SEMITOOL 8300S是一種光刻膠應用系統,旨在簡化和優化光刻膠材料的沈積。它是一種多室、基於平臺的工具，包括多個應用室、基板分期區和基板清潔器。該系統使用自動化、計算機控制的機器人裝置在不同的房間之間移動基板。在這些腔室內，可以進行多種過程，包括將基板暴露於光致抗蝕劑、紡紗、烘烤和冷卻。該系統還包括用於長期、一致應用結果的溶液攪拌和再循環功能。SEMITOOL 8300 S專為低容量和高容量作業而設計,吞吐量由用戶控制。它的潔凈室等級為100級或更高，視環境而定，旨在減少浪費和盡量減少操作員汙染。它也可用於幹式和濕式抗性應用，使其成為許多工藝的理想解決方案。總體而言，8300-S是光刻應用的有效工具。它能夠容納一系列的生產量,而且其強大的設計使其成為可靠且經濟高效的解決方案。其強大的設計還確保了在較長的工作壽命內的可靠性能,從而降低了維護和管理成本。使用8300 S,光刻膠可以快速、準確地應用,確保了光潔度的一致和可靠的結果.
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