二手 SEMITOOL 8300S #9119732 待售

SEMITOOL 8300S
製造商
SEMITOOL
模型
8300S
ID: 9119732
晶圓大小: 8" and 12"
System, 8" and 12" PSC108 controllers included.
SEMITOOL 8300S光刻設備是一種先進可靠的光刻工具.它設計用於半導體和MEMS工業,在光刻制造過程中提供光刻加工。該系統能夠最佳地控制溫度和烘烤過程,從而提供可靠的過程控制和監測能力。該設備效率高,循環時間快,占用空間最小。SEMITOOL 8300 S具有加熱真空卡盤、自動晶圓轉換機以及專用的X射線和UV照明工具,可以進行復雜的光刻處理。它還具有可編程的大氣控制資產,旨在滿足最廣泛的處理要求,如後續變薄、增強深度控制、最大限度地減少顆粒波動以及最小化薄膜中的應力。該模型還包括一個基於微處理器的控制器,具有用戶友好的觸摸屏控制,對所有設備功能提供高效可靠的控制。8300-S還包括一個流程監視器,對所有流程進行實時和長期監控,以及一個系統日誌記錄單元,用戶可以準確記錄、分析和報告在每個流程中收集的數據。它還包括多種配方存儲功能,允許用戶存儲和召回多達32種配方,並具有Autoclean操作功能,以確保最高級別的清潔度和可重復的過程。機器的性能通過其集成的安全系統得到進一步提升,該系統監控壓力、溫度和其他關鍵參數,確保安全可靠的操作。該工具的設計便於安裝,只需最小的地板空間,使操作員能夠靈活、多功能性地按照他們想要的方式進行設置。總體而言,8300S光刻資產是一種先進可靠的光刻模型,提供高效可靠的光刻加工,是半導體和MEMS行業的理想選擇。
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