二手 SEMITOOL 8300S #9155196 待售

SEMITOOL 8300S是用於最先進的光刻加工的光刻設備。該系統采用高真空、低背景和多光束技術的專有混合體,以便提供精確、可靠和高效的工藝,將無限制的復雜陣列陣列成型到基板上。它由幾個部件組成，包括一個垂直安裝的SEMITOOL腔室、一個高壓反射幹衣機和一個多束投影儀。它還具有低能量可變脈沖波技術，用於細線、光刻元件和高分辨率基板的圖案化。所有這些都是通過其直觀的控制器控制和監控的，該控制器具有圖形用戶界面。該多光束光刻工具投射在425 nm紫外線波長下，可以在300 μ時曝光尺寸不超過8英寸、間距不超過4.5 μ和間距不超過40 μW/cm2米的基板。這使該工藝能夠創建高分辨率的光致抗蝕劑工藝,如薄層、具有不同聚焦設置的雙曝光、定義接觸孔形成的抗蝕劑形狀以及定制尺寸的標線。它還具有保持細線和元素特性的能力，以提高焦點深度，增加處理時間，並提供改進的模式配準。超高真空室的設計可保持≤ 1 x 10-6 Torr的基本壓力,同時配備自動渦輪泵速度控制裝置,進一步有助於減少汙染。這臺機器具有高精度階段，即使在高壓情況下也能提供精確、可重復的基板定位和放置。低背景的SEMITOOL 8300 S還采用了符合行業標準且臭氧安全的無味環保工藝。它使用環保的超高壓電源為光學工具供電。它還有一個遮光片，有助於防止散光進入資產，增加總曝光時間。總而言之，8300-S是一種高效、可靠、高質量的光刻膠加工解決方案。其先進的設計和用戶界面使其易於使用並有助於保持高水平的準確性和可重復性。由此，廣泛應用於半導體制造、醫療器械生產、生物技術和制藥等行業應用。