二手 SEMITOOL 8300S #9160072 待售

SEMITOOL 8300S是為半導體工業晶圓加工應用而設計的光刻設備。該系統提供精確的光刻膠自旋塗層和隨後的幹燥，同時還提供更薄膜的精確計量測量。這使得能夠生產復雜的光電器件，如光電探測器和其他組件。整個單元由幾個部分組成：一個溫度控制的旋轉站、一個真空控制的烤箱、一個優越的基於視覺的成像子系統和復雜的軟件。SEMITOOL 8300 S利用離心運動驅動器和低阻力空氣軸承/轉盤進行高分辨率旋轉和精確速度控制。高性能真空烤箱保證了均勻幹燥和晶體生長，提供了良好的均勻性在旋轉模式和提高塗層厚度。成像機提供對蝕刻特征的精確檢測，並允許識別非均勻性或汙染。此外，8300-S將集成軟件與自動控制和優化算法結合在一起。8300 S在其過程中提供了高精度、準確性和靈活性。精密的自旋塗層是以廣泛的塗層速度實現的，範圍從20-1800 rpm，顯著的平整增強，以及由於其高速壓縮機而改進的振動控制。此外,該工具還提供精確的計量測量,以確保符合產品規範並確保高產量。靈活性也是SEMITOOL 8300-S的一個關鍵特性，這是由其高度可定制的軟件啟用的。其直觀的用戶界面簡化了操作,並允許輕松修改流程和配方設置。故障檢測和恢復功能可確保快速、精確地處理任何意外事件。綜上所述,8300S為半導體工業應用提供了卓越的性能和可靠性。它的低阻力空氣軸承/轉盤，精確的速度控制，優越的基於視覺的成像，集成的軟件，以及高精度的計量測量，使其成為生產高容量、高質量光電元件的理想選擇。