二手 SEMITOOL 8300S #9275 待售

SEMITOOL 8300S是一個光刻加工系統，主要設計用於蝕刻和開發直徑不超過8英寸的晶片。它提供精確的控制和可重復的結果，使其適用於包括MEMS、納米技術和光電子在內的一系列半導體應用。它由一個濕式工作臺和一個加工室組成，該工作臺可容納兩個化學儲罐----可通過多種工藝預先編程。該系統配備了各種各樣的附件，如酸中和器、壓力控制器、真空通風口、熱交換器和數字恒溫器，用於量身定制的處理。該室采用光刻板，在晶圓表面上均勻分布紫外線輻射（UV）。它進一步分為兩個可以獨立控制的區域--一個用於切口活化，一個用於發育。紫外線強度和處理時間可以調整，以適應厚度和電阻率等晶圓特性。光致抗蝕劑板可以快速輕松地取出，在大小晶圓直徑之間切換。在第一個區域中，光學活動掩碼被放置在晶片上方並由紫外線激活。這會導致氧化過程在表面蝕刻和形成所需的形狀。第二區利用濕法化學溶液去除多余的光刻膠，清潔表面。這是通過使用真空、高壓齒輪泵和低流量噴射器的組合來實現的。該系統還為使用反應性離子蝕刻（RIE）和深層反應性離子蝕刻（DRIE）的更為復雜的蝕刻工藝開辟了可能性。RIE可用於三維蝕刻，而DRIE可有效去除厚厚的光刻膠層並提供鋒利的特征。此外，濕蝕刻工藝甚至可以通過鍵合氧化物蝕刻技術達到效果。總體而言,SEMITOOL 8300 S為設計和制造高精度應用的晶片提供了一個全面但用戶友好的解決方案。它在板插入、泵的配置和工藝參數方面的靈活性確保它與最新的期望和技術保持最新。