二手 SEMITOOL 840 #20068 待售

SEMITOOL 840是一款建立在Vision平臺上的光阻設備，主要用於半導體、MEMS和LED應用。該系統采用高度優化、低成本的光刻膠裝置，以減少循環時間，降低操作成本，提高工藝的均勻性。840設計用於晶片應用光刻加工和其他表面處理的精確、可重復和準確的結果。提供從一個基板到另一個基板的均勻性和可重復性，允許用戶實現高產率，並提高性能。該機利用光刻膠工藝的精確測量和控制，提高了工藝產量，降低了總體成本。SEMITOOL 840工具建立在Vision平臺上,該平臺集成了多種控制系統,包括視覺引導機器人技術、高級用戶界面和用於操作的綜合軟件包。Vision平臺的綜合控制和診斷工具提高了流程性能和產量。復雜的分析功能使用戶能夠快速輕松地查看結果。840資產還具有高度啟發性的管理模式,用於監視和控制流程的所有點。SEMITOOL 840管理設備允許用戶跟蹤產量、吞吐量和吞吐量歷史記錄,同時允許實時調整每個工藝點。840提供了廣泛的手動和/或自動化流程,允許針對專用流程進行自定義。這些效果包括停電、開燈/熄燈、多次旋轉、反向旋轉和晶圓掃描等。SEMITOOL 840專為快速更改配方而設計,使用戶能夠運行任何類型的作業（小型或大型）。840光刻系統提供模塊化設計,使用戶能夠擴展其系統並根據其特定需求定制布局。SEMITOOL 840還包括一整套組件和布局,以方便融入其現有設施。840提供各種服務,最大限度地提高產量和吞吐量,同時幫助用戶保持預算範圍。該單元還包括用於應用的選項，如抗反射多層沈積、低介電蝕刻和等離子體蝕刻沈積。SEMITOOL 840憑借其多方面的特點、經濟高效的操作和集成的支持，是領先的半導體、MEMS和LED應用光刻機。